표준硏, 3차원 미세형상 측정기술 개발
표준硏, 3차원 미세형상 측정기술 개발
  • 충청타임즈
  • 승인 2008.10.17 22:50
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한국표준과학연구원은 기반표준본부 길이시간센터 김재완 박사가 고속·고정밀 3차원 미세형상 측정 기술 개발에 성공했다고 16일 밝혔다.

김 박사가 개발한 나노형상측정기술은 나노 수준의 미세한 형상이나 물질에 관련된 치수를 정확히 측정하는 기술로 나노미터의 분해능(分解能) 계측이 가능하다.

기존 기계적 구동방식이 아닌 전기적 방식을 적용한 이 기술은 레이저 주파수를 변조하는 방식을 이용해 기존 방식보다 10배 이상 빠르고 정확한 측정이 가능하다고 표준연은 설명했다.

이 같은 신속성과 정확성으로 기존 표본에만 시행하던 제품검사를 모든 제품으로 확대할 수 있어 생산효율을 높일 수 있게 됐다.

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