2025년까지 하루 초순수 2400t 실증플랜트 구축



환경 당국이 반도체 사업에 필요한 초순수(Ultra Pure Water) 공업용수 국산화를 본격적으로 추진한다.



환경부는 한국수자원공사, 한국환경산업기술원과 함께 '고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 국산화 기술개발' 사업에 착수한다고 14일 밝혔다.



지난 2019년 일본의 수출 규제 대응책의 하나로 추진되는 이 사업은 국산 기술을 활용해 반도체 공정 등에서 사용되는 고순도 공업용수(초순수)를 직접 개발해 공급하는 사업이다.



초순수는 수백 개 반도체 생산 단위공정에서 나오는 부산물과 오염물을 닦을 때 쓰는 필수 공업용수다. 초미세회로로 구성된 반도체를 세척하려면 총유기탄소량(TOC) 농도가 10억분의 1(ppb) 이하인 용수가 필요하다.



그간 우리나라 반도체 사용 용수의 50%가량을 차지하던 초순수 공업용수는 일본 등 해외업체에 의존했다. 특히 공정설계, 초순수 배관, 수처리 약품 등을 일본에 의존해 수출 규제에 매우 취약하다.



환경부는 올해 고순도 공업용수 생산에 필요한 자외선 산화장치(UV), 용존산소 제거용 탈기막 국산화에 착수했다.



한국수자원공사는 2025년까지 하루에 2400t 초순수를 생산하는 실증플랜트를 반도체 업체에 설치해 운영할 계획이다.



수자원공사는 업계와 실증플랜트 구축 협의를 거쳐 연내에 대상지를 확정할 예정이다. 당국은 초순수 공정의 최대 60%를 국산화할 수 있을 것으로 내다봤다.



수자원공사를 비롯한 공공기관과 관련 업계는 2025년까지 자외선 산화장치, 용존산소 제거용 탈기막, 고순도 공업용수 공정·수질 성능평가 등 기술개발을 추진한다.



김동진 환경부 수자원정책관은 "고순도 공업용수는 비단 반도체뿐만 아니라 제약, 바이오, 정밀화학 등 고부가가치 산업에서 수요가 점차 확대되고 있다"며 "이번 기술개발 사업이 차질 없이 이행되면 해외 기술 의존도 탈피와 더불어 국내 수처리 업계의 해외 시장 진출 기반을 마련하는 발판이 될 것"이라고 밝혔다.